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Compétences
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Domaines d’expertise
Ingénierie du dopage :
Implantation ionique
Recuits thermiques (RTA, Furnace annealing)
Diffusion des dopants dans les semi-conducteurs
Défauts ponctuels et étendus dans les semi-conducteurs
Techniques de caractérisations (SIMS, Mesures Rcarré, TEM, RBS)
Simulation TCAD : Maîtrise des outils de simulation Athena, Atlas (Silvaco), Promis (TU-Vienna)
Informatique Langages de programmation : Fortran, C, C++
Outils de développement : CVS, SunWorkshop
Maîtrise des réseaux TCP/IP
Langues Anglais courant (TOEIC 805/1000)
Allemand Notions
Divers Méthodologie de calibrage (Plan d’expérience, Outils statistique).
Certificat " Personne compétente en matière de radioprotection " délivré par l’Institut de Recherche Subatomiques de Strasbourg.
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Expériences Professionnelles
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2003-2005 Ingénieur R&D process TCAD
SILVACO FRANCE, Grenoble
• Développement complet du modèle PLS (Phase-Leti-Silvaco) de diffusion des dopants dans l’outil commercial de simulation de procédés de fabrication SILVACO ATHENA
• Collaboration avec l’équipe de développeurs TCAD aux Etats-Unis
• Etudes et recherches de solutions avancées pour le dopage en microélectronique :
- Etude de l’effet d’un prérecuit et de la rampe de température montante
- Influence du fluor et du carbone sur la diffusion des dopants
- Effet d’une préamorphisation et recristallisation en phase solide (SPE)
- Simulation et modélisation d’ingénierie des défauts
- Modélisation analytique de l’implantation
• Communications internes et externes. Rédaction de documents techniques
1999-2003 Ingénieur de recherche, Thèse CIFRE
LETI, CNRS-PHASE, SILVACO, Grenoble – Strasbourg – Santa-Clara (USA)
• Recherches axées sur la modélisation de la diffusion et de l’activation des dopants dans le silicium au cours d’un traitement thermique
• Etudes expérimentales de l’effet d’une rampe de température et d’un prérecuit sur un traitement thermique rapide (Furnace annealing et RTP en salle blanche)
1997-1998 Administrateur réseau
Service militaire - Lycée Technique F. Renaudeau, Cholet (Maine et Loire)
• Responsable de l'Espace Multimédia et mise en place d'un réseau intranet complet sur 25 postes
Mes compétences :
Implantation
Microélectronique
Process
Traitement thermique