ONERA
- Thèse MEMS inertiels
Palaiseau
2004 - 2008
Département de Mesures Physiques (DMPH), Unité Capteurs et Microtechnologies (CMT)
Doctorat en microsystèmes : Evaluation du potentiel de performances de µ-senseurs inertiels vibrant en silicium
• Etude théorique et expérimentale des limitations liées à la miniaturisation d’accéléromètres vibrants en silicium (stabilité, facteur de qualité, bruit, …)
• Conception et développement d’une gamme d’accéléromètres vibrants en silicium différentiels en technologie SOI
• Réalisation en salle blanche (ESIEE) : photolithographie, dépôt métal, gravure sèche et humide, …
• Participation à un projet transversal (contrat DGA) : réunion d’équipes (collaboration ONERA/ESIEE/IEF), rapports techniques, présentations à des conférences internationales (IEEE Sensors’06 et 07, Transducers’07, …)
Outils : Samcef, Matlab, Cadence
Manuscript:
http://tel.archives-ouvertes.fr/index.php?halsid=ughq5ak42ou6je93jdjkeuv0i2&view_this_doc=tel-00473800&version=2
Publication:
B. Le Foulgoc, T. Bourouina, O. Le Traon, A. Bosseboeuf, F. Marty, C. Breluzeau, J.-P. Grandchamp, and S. Masson. Highly decoupled single-crystal silicon resonators: an approach for the intrinsic quality factor. J. Micromech. Microeng., 16, pp 45-53, 2006.
Communications:
B. Le Foulgoc, T. Bourouina, O. Le Traon, A. Bosseboeuf, F. Marty, C. Breluzeau, J.-P. Grandchamp, and S. Masson. Highly insulated single-crystal silicon resonators: an approach for the intrinsic quality factor. MME 05 – Micromechanics Europe, Gotebörg, 4-6 Septembre 2005
B. Le Foulgoc, T. Bourouina, O. Le Traon, A. Bosseboeuf, F. Marty, S. Masson, A. Parent. High-Q silicon flexural resonators for vibrating inertial sensors: Investigations of the limiting damping mechanisms. IEEE Sensors, Daegu Korea, 22-25 Octobre 2006
B. Le Foulgoc, O. Le Traon, A. Parent, T. Bourouina, F. Marty, A. Bosseboeuf, H. Mathias. Concepts and limits for the miniaturization of silicon differential vibrating inertial micro-beam accelerometer. IEEE Sensors, Atlanta USA, 28-31 Octobre 2007
B. Le Foulgoc, A. Bosseboeuf, T. Bourouina, O. Le traon, S. Masson, A. Parent. An experimental study of nonlinear limits in High-Q Silicon vibrating micro- and nano-mechanical sensors. Transducers 2007 – The 14th international conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems – Lyon France, 10-14 juin 2007.
Trinity College Dublin - Irlande
- Stage de master de recherche
2002 - 2003
Stage de master de recherche (10 mois) au sein du Trinity College of Dublin.
Dans le groupe "Molecular electronics and nanotechnology", travail de recherche sur les nanotubes de carbone:
- realisation (arc-discharge)
- purification par dispersion et separation
- renforcement de polymeres à base de nanotubes de carbones
Communications:
M. Cadek, B. Le Foulgoc, J.N. Coleman, V. Barron, J. Sandler, M.S.P. Shaffer, A. Fonseca, M. van Es, K. Schulte, and W.J. Blau
Mechanical and Thermal Properties of CNT and CNF Reinforced Polymer Composites
AIP Conf. Proc. 633 (2002) 562
M. in het Panhuis, W. Thielemans, A.I. Minett, R. Leahy, B. Le Foulgoc, W.J. Blau, R.P. Wool, 'A composite from soy oil and carbon nanotubes', International Journal of Nanoscience 2, 185-194 (2003).
