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Jérôme DUBOIS

GRENOBLE

En résumé

Mes compétences :
Gravure
Microélectronique
Physique
Plasma

Entreprises

  • STMicroelectronics - Ingénieur R&D gravure

    2017 - maintenant
  • CEA-Grenoble (France) - Doctorant au Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM CNRS)

    PARIS 2013 - 2016 Thèse en gravure plasma pour la microélectronique : étude d'une nouvelle technologie exploitant des plasmas de H2/He pour contrôler la gravure de couches ultraminces à l’échelle nanométrique.
     Travail expérimental en salle blanche sur échantillons et substrats 300 mm
     Proposition et développement de procédés plasmas CW et pulsés
    Diagnostics plasma : RFEA, sonde de flux ionique, OES, TALIF (collaboration avec le LPP, École Polytechnique, France)
     Caractérisation de la surface modifiée par le plasma
    Techniques de caractérisation : XPS, XRR, FTIR, ellipsométrie, microscopie SEM/TEM, AFM, SIMS
     Modèle analytique de la gaine du plasma H2 pour identifier les ions
    Logiciels utilisés : Matlab, SRIM
  • Université Joseph Fourier - Enseignant (moniteur)

    Saint-Martin-d'Hères 2013 - 2015 128 heures (hetd) de TD / TP
    Département Licence Sciences et Technologies (DLST)
     Mécanique du point
    Institut Universitaire de Technologies 1 (IUT1)
     Physique des semi-conducteurs
     Génie thermique et électrique
  • Laboratoire PIIM (Physique des Interactions Ioniques et Moléculaires) - Stagiaire Master 2

    2012 - 2012 Étude de la production en surface d’ions négatifs en plasma basse pression de H2/D2 (pour le développement des futurs injecteurs de neutres des réacteurs de fusion nucléaire)
     Proposition d’une méthode expérimentale assistée numériquement (programme Matlab) pour déterminer la distribution angulaire des ions négatifs produits sur une surface de graphite
    Dispositif : Réacteur plasma hélicon avec spectromètre de masse et sonde de Langmuir.
  • Vinci Energies - Assistant Responsable d'Affaires

    Montesson 2011 - 2011 Stage d'étude et conduite de travaux de génie climatique sur immeubles de bureaux en Ile-de-France.

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